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S1000-掃描電鏡放大倍率校準(zhǔn)圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品

時(shí)間:2019-09-06 作者:普天同創(chuàng) 閱讀:5294


概述簡(jiǎn)介:

        普天同創(chuàng)(深圳)科技有限公司 為掃描電鏡客戶(hù)定制放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品。標(biāo)樣基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片,材料性質(zhì)穩(wěn)定。由德國(guó)聯(lián)邦物理研究所(PTB)對(duì)線(xiàn)距均勻性進(jìn)行測(cè)量認(rèn)證。測(cè)量結(jié)果可直接溯源至米定義計(jì)量基準(zhǔn)。


規(guī)格尺寸

        5mm×5mm×0.5mm(長(zhǎng)×寬×厚)


產(chǎn)品描述

     . 主體圖形為一“回”字形方框,分為4個(gè)象限,X、Y軸上為垂直坐標(biāo)軸方向的線(xiàn)距20μm的短平行線(xiàn)條,

     . 4個(gè)象限上分別是線(xiàn)距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線(xiàn)距為5μm的X、Y雙向平行線(xiàn)條圖形。

     . 內(nèi)框中部又是“回”字形方框,大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線(xiàn)距為5μm的平行線(xiàn)條,小框里面是線(xiàn)距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線(xiàn)條圖形(如圖)。在5μm和1μm或0.5μm的線(xiàn)距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點(diǎn),可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整。不同的線(xiàn)距大小可用于從10×~100,000×放大倍率范圍的校準(zhǔn),而把40μm、20μm和10μm的線(xiàn)距結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)成方格形,是為了在對(duì)放大倍率進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時(shí),可以對(duì)圖像的畸變、像散等進(jìn)行校驗(yàn), 5μm和1μm/0.5μm的線(xiàn)距結(jié)構(gòu)也同時(shí)具有X、Y兩個(gè)方向的平行線(xiàn)條,是為了方便同時(shí)對(duì)X、Y兩個(gè)方向進(jìn)行放大倍率的校準(zhǔn)而不必機(jī)械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。


主要用途:

     . 可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正,是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品
     . 可用于對(duì)圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn),是評(píng)價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的個(gè)重要工具
     . 可直接用于同一量級(jí)物體長(zhǎng)度的精確比對(duì)測(cè)量
     . 對(duì)樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用

     . 利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像,可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)


使用方法:

     . 盡量使用較低的工作電壓,如5KeV或更低
     . 盡量使用較小的束流,并避免對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品的長(zhǎng)時(shí)間掃描
     . 注意,測(cè)量時(shí)必須選擇“線(xiàn)周期”進(jìn)行測(cè)量(即 Pitch),即一黑一白為“一根線(xiàn)”
     . 必須同時(shí)測(cè)量雙向的距離,交角為90度
     . 測(cè)量的雙向距離大約占圖像的二分之一或三分之二
     . 同時(shí),通常在適當(dāng)倍率下,應(yīng)測(cè)量3-5條線(xiàn)值的平均值;如我們?cè)跇?biāo)樣說(shuō)明書(shū)中所示的照片那樣

     . 可以直接參照標(biāo)樣說(shuō)明書(shū)的那八張相近圖像進(jìn)行測(cè)量


注意事項(xiàng):

        使用前應(yīng)認(rèn)真檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品表面有無(wú)污染物和損壞,因?yàn)檫@會(huì)影響校準(zhǔn)。請(qǐng)勿使用已破損或有污染物的標(biāo)準(zhǔn)樣品!可用清潔干燥的空氣或氮?dú)馇宄龢?biāo)準(zhǔn)樣品上的灰塵、碎片或其他污染物,注意不要損壞標(biāo)準(zhǔn)樣品。有條件的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)不定期地通過(guò)與其他標(biāo)準(zhǔn)樣品的對(duì)比來(lái)檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品的特性和用法來(lái)確定其檢查頻率。
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