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掃描電鏡的優點及應用范圍

時間:2020-04-15 作者:普天同創 閱讀:15264
        掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。

        掃描電鏡的優點
        ①. 有較高的放大倍數,20-200000倍之間連續可調;
        ②. 有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構;
        ③. 試樣制備簡單,目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置,這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析(即SEM-EDS),因此它是當今十分重要的科學研究儀器之一。


        掃描電鏡的組成及原理

        掃描電子顯微鏡由電子光學系統,信號收集及顯示系統,真空系統及電源系統組成。從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描,激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。
        當一束極細的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時,被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時可產生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。

        掃描電鏡的應用范圍
        1. 生物:種子、花粉、細菌……
        2. 醫學:血球、病毒……
        3. 動物:大腸、絨毛、細胞、纖維……
        4. 材料:陶瓷、高分子、粉末、金屬、金屬夾雜物、環氧樹脂……
        5. 化學、物理、地質、冶金、礦物、污泥(桿菌) 、機械、電機及導電性樣品,如半導體(IC、線寬量測、斷面、結構觀察……)電子材料等。
        6. 新型陶瓷材料分析
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