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平行平晶
產(chǎn)品簡介:平行平晶,以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平行平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。具有高精度的平面性和平行性。
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相對測量的平行度。

平行平晶,以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平行平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。具有高精度的平面性和平行性。



規(guī) 格

精 度

塊數(shù)

0-25

0.6μm

4

25-50

0.6μm

4

50-75

0.6μm

4

75-100

1.0μm

4

















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